长沙韶光芯材科技有限公司

超精密光栅光学元件




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名称:微纳光学光刻材料:

用途:用于分划板、光栅尺、光栅马盘、车标元件、仪器标定板的制造;
广泛应用于微电子、光学、光电子、纳米器件、生物芯片、光通讯等行业领域;高反射机器视觉用标定板、高对比度机器视觉用标定板、机器人关节码盘等微纳光学元件。

性能:精度高,均匀性好,误差小。能够开发10nm-1000nm的各种微纳薄膜以及组合膜系能力;膜层均匀性能够达到±1%的水平。其中尤其在Cr/Cr0/CrN,Al/合金Al膜(如Al-Cu),Ag/Au,红外透过ITO,AZO,各种AR光学介质膜等组合膜系。

规格:小于1000mm*1000mm任意尺寸

 


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